1.4米的真空扩散泵

sbm197873 · 发表于 2013-5-26 19:57:21

昨天去真空设备厂看到的庞然大物（1.4米的真空扩散泵），与大家分享。

霜月 · 发表于 2013-5-26 20:35:44

楼主能否介绍下真空扩散泵的用途？

sbm197873 · 发表于 2013-5-26 20:45:37

一般作三级泵获得高真空（10的-4级到-3级pa）。刚接触真空热处理，学习中。

mayi · 发表于 2013-5-26 21:45:54

一般使用机械泵和罗茨泵只能获得中真空（0.1Pa）这个级别，如果希望获得更高的真空度如10的负2次方、10的负3次方或10的负4次方，需要用到油扩散泵。
扩散泵不能单独使用，需要前级机械泵作预抽。

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