真空泵组的工作原理

多用炉

请朋友介绍下真空炉各类真空泵的工作原理，以及相互关系。多谢了！

hongqk

这个是说来话长了，简单地说：
真空炉有用到旋片泵、滑阀泵、螺杆泵、水环泵、罗茨泵、扩散泵、分子泵等。

旋片泵、滑阀泵及螺杆泵用于粗抽，有效抽速区间在100Pa到100000Pa之间，三个泵的极限真空度会有差异，旋片泵适用于小型被抽环境比较干净的环境，但一般只能做到70L/min的抽速，滑阀泵可以做得比较大，H150比较常见，对有定污染的环境比旋片泵适用性要强。螺杆泵首先很贵，适合抽取气体和液体的环境，如果有粉尘和焦油的话，就不好用了。

罗茨泵适合在中真空环境下工作，起增压作用，也就像接力赛中的二传手，粗抽泵到了几百帕的时候，抽力下降，而罗茨泵在这个阶段有很高的抽速。很多刚入真空的新朋友很奇怪，旋片泵与罗茨泵的极限真空度都差不多，为什么我还要加一台罗茨泵？是的，罗茨泵只是加快了抽速而以，如果没有罗茨泵，前级粗抽泵也可以抽到很高的极限真空度。


扩散泵和分子泵属于三传手了，为了获得更高的真空泵，如钛合金、不锈钢等材料处理，需要更高的真空度才可以保持颜色，就需要这两种泵了，分子泵非常娇气，有点杂物进入很容易损坏，高速旋转的转子，也不适合快启快停，也不适合有振动的环境，但分子泵是纯机械式的，不会对被抽环境造成负面影响。油扩散泵没有机械运动，靠的是高速喷射的油气驱动抽出气体分子，最害怕被抽气体中有较多的氧气，容易被氧化，油扩散泵被抽容器的压力不能大于5Pa，5Pa以下才有抽力，2Pa以下有较大抽力，油扩散最大的问题就是会有油蒸气会返回到被抽容器里。

hongqk

水环泵常用到被抽环境有非常大污染物的环境下，如粉末冶金行业的脱脂炉，但水环泵的能耗和水耗都比较大。

多用炉

多谢坛主！受教了。

ywjianghu

表达清晰，深入浅出。

hongqk

多用炉 发表于 2019-4-16 13:22
多谢坛主！受教了。

很乐意交流真空方面的知识，看楼主的名号是“多用炉”，应该是多用炉方面的专家。

hongqk

ywjianghu 发表于 2019-4-16 14:31
表达清晰，深入浅出。

客气了。