极限真空问题

hongqk

遇到一个抽极限真空度问题，今天终于解决，与大家分享：原真空炉的管道真空度保不住，原因是老式压差阀在停电的过程中，阀芯不能上升，压差放气后，气体进入了真空管道，新换了一个压差阀，真空管道的真空是可以保住了，但机械泵抽极限只能到达50多Pa就不行了，原来至少要以到5Pa，真空管道可以保住，与炉体没有关系，检查了机械泵也没有问题，最后查出问题出在压差阀下部的密封圈没有装好。同样可以出现种问题的可能还有压差阀的电磁阀坏造成漏气；机械泵的阀片与泵体关闭不严造成机械泵本身内漏。